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普通碳化硅和高纯碳化硅的区别在哪

发布时间:2026-01-09 16:10:30 作者: 来源: 人气:

普通碳化硅和高纯碳化硅的根本区别在于纯度,以及由此带来的微观结构、物理性能和应用领域的截然不同。
我们可以从以下几个维度来详细对比:

1. 核心区别:纯度与杂质

普通碳化硅:通常指工业级或冶金级碳化硅。其碳化硅含量一般在95% - 99% 之间。含有大量的杂质,如:
游离硅和游离碳:未完全反应的原料。
金属杂质:铁、铝、钙等,来自生产原料或设备污染。
其他非金属杂质:如氮、氧等。
高纯碳化硅:通常指半导体级或高级陶瓷级碳化硅。其碳化硅含量通常在99.9995%(5N5) 以上,顶级产品可达99.9999%(6N) 甚至更高。关键杂质元素(特别是影响电学性能的金属杂质)的含量被控制在ppm(百万分之一)甚至ppb(十亿分之一) 级别。

2. 生产工艺不同

普通碳化硅:主要采用艾奇逊法。将石英砂、石油焦(或无烟煤)等原料在电阻炉中通过高温(~2500°C)冶炼而成。这种方法能耗高,过程中容易引入杂质,产品纯度受原料和炉衬材料限制。
 
高纯碳化硅:采用更精细的化学或物理方法制备,例如:
化学气相沉积法:在高温下,使含硅和碳的气体前驱体发生化学反应,在衬底上沉积出高纯SiC晶体或薄膜。这是制备半导体外延片的主流方法。
物理气相传输法/升华法:目前生长单晶碳化硅衬底的主流技术。在高纯、高温、真空或惰性气体环境中,通过SiC原料粉末的升华-再结晶过程,生长出大尺寸、低缺陷的单晶。
高纯粉末烧结法:使用纯度极高的亚微米级SiC粉末,通过热压烧结或气压烧结等工艺制备高致密度的碳化硅陶瓷。

3. 微观结构与物理性能

普通碳化硅
多晶/颗粒态:通常为黑色或绿色的不规则颗粒或粉末。
性能:硬度高、耐磨、耐高温,但韧性差、脆性大、电学性能不可控且不均匀。内部杂质和晶界会显著降低其高温强度、导热性和抗腐蚀性。
 
高纯碳化硅
单晶或高致密细晶陶瓷:半导体用的是单晶,高级陶瓷用的是高纯细晶多晶陶瓷。
性能
电学性能可控:通过掺杂可以精确控制其导电类型和电阻率,这是作为半导体材料的基石。
高热导率:纯度越高,声子散射越少,导热性能越好。
优异的高温力学性能:高纯细晶陶瓷在高温下强度衰减很小。
高化学稳定性:杂质少,抗腐蚀性更强。

4. 主要应用领域

普通碳化硅
磨料磨具:砂轮、砂纸、切割片、喷砂材料。
冶金添加剂:作为脱氧剂和增碳剂,用于钢铁冶炼。
耐火材料:窑具、耐火砖、浇注料。
功能填料:用于耐磨涂料、聚合物增强等。
 
高纯碳化硅
半导体电子(核心应用):
衬底:用于制造下一代功率器件(MOSFET、SBD等)、射频器件和耐极端环境传感器。
外延片:在单晶衬底上生长出更高质量的薄层,用于制造器件。
先进陶瓷
光刻机部件:超高纯SiC用于制造光刻机的导轨、反射镜等,要求极低的热膨胀和极高的尺寸稳定性。
核燃料包壳材料:在核反应堆中,其耐辐射和高温性能至关重要。
航空航天:用于制造高性能的涡轮叶片、燃烧室部件、光学镜坯等。

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